產品說明
精密複合積體電路氣態液態流量控制可配合數位顯示計
功能說明
設備管路偵測、控制流量大小，液體或氣體皆可量測，可適用於半導體製程控制及其他電子材料製程流量控制。流量範圍：5 SCCM~400SLM溫度穩定度0.05％/℃高精度±1 ％F.S.以下線性±0.5 ％F.S.以下再現性±0.2 ％F.S.以下具緩衝啟動機能-變更設定值/電源投入時/外部閥門動作時
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